大家好,今天小編關(guān)注到一個(gè)比較有意思的話題,就是關(guān)于腐蝕英文的翻譯問題,于是小編就整理了2個(gè)相關(guān)介紹腐蝕英文的解答,讓我們一起看看吧。
刻蝕的意思?
"刻蝕"是一種物理或化學(xué)方法,用來在物體表面通過腐蝕或磨削的方式刻上圖案、文字或裝飾。通常使用化學(xué)蝕刻液、酸性或堿性溶液、激光等來進(jìn)行刻蝕。
刻蝕可以在金屬、玻璃、陶瓷等材料上進(jìn)行,以達(dá)到美化、裝飾或標(biāo)識(shí)的目的。
刻蝕可以根據(jù)需要控制深度和形狀,創(chuàng)造出各種精細(xì)的圖案和文字符號(hào)。此外,刻蝕也可以用于制作微型電路和半導(dǎo)體芯片中的細(xì)微結(jié)構(gòu)。
什么是刻蝕?
刻蝕,英文為Etch,它是半導(dǎo)體制造工藝,微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中的一種相當(dāng)重要的步驟。是與光刻相聯(lián)系的圖形化(pattern)處理的一種主要工藝。所謂刻蝕,實(shí)際上狹義理解就是光刻腐蝕,先通過光刻將光刻膠進(jìn)行光刻曝光處理,然后通過其它方式實(shí)現(xiàn)腐蝕處理掉所需除去的部分??涛g是用化學(xué)或物理方法有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過程,其基本目標(biāo)是在涂膠的硅片上正確地復(fù)制掩模圖形。隨著微制造工藝的發(fā)展,廣義上來講,刻蝕成了通過溶液、反應(yīng)離子或其它機(jī)械方式來剝離、去除材料的一種統(tǒng)稱,成為微加工制造的一種普適叫法。
中文名
刻蝕
外文名
etch
工藝
半導(dǎo)體制造工藝
狹義理解
光刻腐蝕
基本內(nèi)容
刻蝕方法
刻蝕最簡單最常用分類是:干法刻蝕和濕法刻蝕。顯而易見,它們的區(qū)別就在于濕法使用溶劑或溶液來進(jìn)行刻蝕。
濕法刻蝕是一個(gè)純粹的化學(xué)反應(yīng)過程,是指利用溶液與預(yù)刻蝕材料之間的化學(xué)反應(yīng)來去除未被掩蔽膜材料掩蔽的部分而達(dá)到刻蝕目的。其特點(diǎn)是:
濕法刻蝕在半導(dǎo)體工藝中有著廣泛應(yīng)用:磨片、拋光、清洗、腐蝕
優(yōu)點(diǎn):
選擇性好、重復(fù)性好、生產(chǎn)效率高、設(shè)備簡單、成本低。
缺點(diǎn)是:
鉆刻嚴(yán)重、對(duì)圖形的控制性較差,不能用于小的特征尺寸;會(huì)產(chǎn)生大量的化學(xué)廢液。
干法刻蝕種類很多,包括光揮發(fā)、氣相腐蝕、等離子體腐蝕等。按照被刻蝕的材料類型來劃分,干法刻蝕主要分成三種:金屬刻蝕、介質(zhì)刻蝕和硅刻蝕。介質(zhì)刻蝕是用于介質(zhì)材料的刻蝕,如二氧化硅。干法刻蝕優(yōu)點(diǎn)是:各向異性好,選擇比高,可控性、靈活性、重復(fù)性好,細(xì)線條操作安全,易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化,無化學(xué)廢液,處理過程未引入污染,潔凈度高。缺點(diǎn)是:成本高,設(shè)備復(fù)雜。干法刻蝕主要形式有純化學(xué)過程(如屏蔽式,下游式,桶式),純物理過程(如離子銑),物理化學(xué)過程,常用的有反應(yīng)離子刻蝕RIE,離子束輔助自由基刻蝕ICP等。
干法刻蝕方式很多,一般有:濺射與離子束銑蝕, 等離子刻蝕(Plasma Etching),高壓等離子刻蝕,高密度等離子體(HDP)刻蝕,反應(yīng)離子刻蝕(RIE)。另外,化學(xué)機(jī)械拋光CMP,剝離技術(shù)等等也可看成是廣義刻蝕的一些技術(shù)。
有圖形的光刻膠層在刻蝕中不受到腐蝕源顯著的侵蝕,這層掩蔽膜用來在刻蝕中保護(hù)硅片上的特殊區(qū)域而選擇性地刻蝕掉未被光刻膠保護(hù)地區(qū)域。
刻蝕就是用化學(xué)的、物理的或同時(shí)使用化學(xué)和物理的方法,有選擇地把沒有被抗蝕劑掩蔽的那一部分薄膜層除去,從而在薄膜上得到和抗蝕劑膜上完全一致的圖形。 刻蝕技術(shù)主要分為干法刻蝕與濕法刻蝕。
干法刻蝕主要利用反應(yīng)氣體與等離子體進(jìn)行刻蝕;濕法刻蝕主要利用化學(xué)試劑與被刻蝕材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行刻蝕。
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